产品描述

 

 

 

Harrick 扩展型 等离子清洗器
 

Harrick 扩展型 等离子清洗器

 

产品简介:

Harrick Plasma是国际一流的等离子清洗器生产商,在业内已经有三十多年的经验。他所生产的小型等离子清洗器结构紧凑、质量可靠、价格合理;广泛地被大中院校、科研机构、企业研发机构和实验室采用。其产品主要应用在材料科学、高分子科学、生物医药材料学、微流体研究、微电子机械系统研究、光学、显微术、牙科医疗等领域中的污染物清除、表面活化、粘合前处理、表面化学改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。该产品能处理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金属半导体、陶瓷、复合材料、高分子聚合物等材料,并对所处理的材料表面带来表面超洁净、杀菌、提高湿润性转变、表面性质改变、提高结合力等处理效果。

 

基本参数:

  • 主要特征:
            台式设计,结构紧凑精致
            低、中、高三档可调节功率,最大可为30W
            设备辐射小,安全环保
  • 外形尺寸:
            11"H x 18"W x 9"D(279mm x 457mm x 228mm)
  • 重量:
            20.0kg
  • 输入电源:
            220 V / 50Hz
  • 输入功率:
            200 W
  • 功率档:
            低档716V DC、10mA DC、7.16W
            中档720V DC、15mA DC、10.15W
            高档740V DC、40mA DC、29.6W
  • 常用工作气体:
            空气、氩气、氮气或混合气体等
  • 基本配置:
            直径6英寸,长6.5英寸的耐热玻璃舱体。
            可拆卸舱盖。
            含磁力锁和可视窗的铰链舱盖。
            最大为30W的RF线圈。
            1/8英寸NPT针阀
            1/8英寸NPT三通阀
  • 选配件:
            石英等离子清洗舱
            石英托盘(用于放置样品)
            气体计量混合器Plasma FloTM
  • 周边设备:
            基本型专用真空泵(PDC-VPE-2)

 

可选件:

  • 选件一:气体计量混合器PlasmaFloTM

    功能及配置简介:
    1、Harrick  PlasmaFloTM气体计量混合器是一台可任选的以满足客户的不同需求的备件。主要应用于样品的表面改性。
    2、在等离子清洗过程中气体流混合和压力监视。
    3、为向舱内注入两种气体提供了可能。
    4、含两个标准的气体流量计(1.0 SCFH & 2.0 SCFH)
    5、温差电偶真空度表测量舱内压力
    6、适用气体:空气、氮气、氩气或混合气体。
    7、尺寸:8 1/2"H x 10"W x 8"D
    8、订货号:PDC-FMG-2  
  • 选件二:真空泵

    Harrick等离子清洗需要使用最小1.4 m3/hr (0.83 cfm),压力为200 mTorr (0.27 mbar)的真空泵。Harrick 提供两种可选型号:
       1、PDC-VP-2 (220V)
              抽真空速度(50/60 Hz): 3.2/3.6 m3/hr
              极限压力(气镇关):1.5 mTorr
              极限压力(气镇开):23 mTorr
              电机功率:(50/60 Hz): 250/300 W
              重量: 34 lbs
              尺寸: 9"H x 15"W x 5"D
       2、PDC-VPE-2 (220V)
              抽真空速度(50/60 Hz): 5.1 m3/hr
              极限压力(气镇关): 7.5 mTorr
              极限压力(气镇开: 150 mTorr
              电机功率(50/60 Hz): 373 W
              重量: 27 lbs
             尺寸: 9 3/4"H x 14"W x 5 1/2 D"  
  • 选件三:石英等离子清洗舱及托盘

 

Harrick 扩展型 等离子清洗器